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发布日期:2024-03-07 05:48    点击次数:188

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7月11日6868体育,据“中国光谷”微信公众号音讯,华工科技近期制造出了我国首台中枢部件100%国产化的高端晶圆激光切割诱骗。

据华工激光半导体产物总监黄伟先容,半导体晶圆属于硬脆材料,在一个12英寸的晶圆上稀有千颗以至数万颗芯片,晶圆切割和芯片别离岂论接受机械或激光神色,齐会因物资斗争和高速畅通而产生热影响和崩边,从而影响芯片性能,因此,放荡热影响的扩散范围和崩边尺寸是要道。

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而机械切割的热影响和崩边宽度约20微米,传统激光在10微米傍边;此外,切割线宽的减少,意味着晶圆能作念到更高的集成度,从而使得半导体制造更经济、更有成果。

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自前年以来,黄伟团队对半导体晶圆切割时代,伸开微纳米级激光加工的迭代升级、攻坚冲突,“最忙时团队20多东谈主两班倒轮替作念测试实践和产物优化,诱骗24小时陆续。”

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流程一年奋勉,华工科技制的半导体晶圆切割时代成功达成升级,热影响降为0,崩边尺寸降至5微米以内,切割线宽可作念到10微米以内。成为了我国首台中枢部件100%国产化的高端晶圆激光切割诱骗,在半导体激光诱骗鸿沟攻克多项中国第一。

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按照坐蓐一代、研发一代、储备一代的理念,华工激光正在研发具备行业最初水平的第三代半导体晶圆激光改质切割诱骗,盘算本年7月推出新产物,同期也正在开发我国自主常识产权的第三代半导体晶圆激光退火诱骗。

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尊府裸露,华工科技建树于1999年,领有20000多平米的研发、中试基地,在外洋设有3个研发中心,与华中科技大学共建有激光加工国度工程商议中心、国度防伪工程商议中心、敏锐陶瓷国度重心实践室。通过产学研用纽带,华工科技牵头制定国度“863”盘算阵势、国度科技复旧盘算阵势、十三五国度要紧科技盘算专项等50余项,牵头制定中国激光行业首个国际递次,取得国度科技独特奖3项。

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